薄膜介电常数及损耗测试仪的三电极结构设计

薄膜介电常数及损耗测试仪是一款针对薄膜测试的专用设备，测试薄膜介电常数及损耗需要特制的夹具，通过软件可以采集到介损（tgd）及介电常数（ε）器件的介电性能测量与分析，可测试以下参数随频率(f)、电平(V)、偏压(Vi)的变化规律：电容(C)、电感(L)、电阻(R)、电抗(X)、阻抗(Z)、相位角(Ø)、电导(B)、导纳(Y)、损耗(D)、品质因数(Q)等参数，同时计算获得反应材料介电性能的复介电常数和损耗参数。

其采用了西林电桥的经典线路。主要可以测量电容器，互感器，变压器，各种电工油及各种固体绝缘材料在工频高压下的介质损耗( tgd)和电容量( Cx)以，其测量线路采用“正接法"即测量对地绝缘的试品。电桥由桥体、指另仪、跟踪器组成，本电桥特别适应测量各类绝缘油和绝缘材料的介损（tgd）及介电常数（ε）。

三电极结构设计：

微调千分尺：微调千分尺具备0.001mm的调节精度，可精细化调节上下电极之间的距离。

平行板测试电极：下电极固定在底部支撑座，上电极可由微调千分尺调节行程距离。上电极带有保护电极。

上电极片：上电极标配有2mm球头电极、φ26.8mm圆片电极和φ38mm圆片电极。可根据样品大小随时更换。

锁紧装置：当样品放入上下电极之间后，可调节此锁紧装置，固定上下电极的调节行程。防止轻微移动引起的刻度偏差。