描述：本测试系统由主控器、高压放大器、变温综合测试平台（配铁电测试盒）或高低温探针台（配高压探针）、计算机及系统软件部分组成。主控器集成了可编程波形发生器、内置驱动电压、电荷积分器、可编程放大器、模数转换器、通讯总线等功能，主控器提供扩展外置高压放大器接口，可扩展±5 kV或±10 kV的高压放大器。系统软件包括可视化数据采集和管理功能，测试时，无需改变测试样品的连接，即可实现滞回，脉冲，漏电，IV等性

FE-5000型铁电薄膜测试仪

FE-5000W型电致应变铁电测试仪是一款高量程款的铁电性能材料测试装置，这款设备可以适用于铁电薄膜、铁电体材料（既可块体材料）的电性能测量，可测量铁电薄膜电滞回线、可测出具有非对称电滞回线铁电薄膜值。可以进行电致应变测试，可以蝴蝶曲线功能，设备还可以扩展高温电阻，高温介电，电容-电压曲线，TSC/TSDC等功能。本仪器是从事压电材料及压电元件生产、应用与研究部门的重要设备之一，已经在各大高校和科研院所广泛使用。

二、主要技术指标：

1、输出信号电压：：±5000V（可扩展至10 kV）,可扩展电致应蝴蝶曲线功能

2、温度；室温-200℃，控温精度：±1℃

3、控制施加频率0.01到250KHz（陶瓷、单晶，薄膜）PC端软件控制自定义设置；

4、控制输出电流0到±50mA连续可调，PC端软件控制自定义设置。

5、动态电滞回线测试频率范围0.01Hz-5kHz

7、最小脉宽保持时间为20us;最小上升沿时间为10us;

8、疲劳测试频率500kHz（振幅10 Vpp，负载电容1 nF）；使用高压放大器后疲劳频率最高5kHz;

9、测试速度：测量时间《5秒/样品•温度点

10、样品规格：块体材料尺寸：直径2-100mm，厚度0.1-10mm

11、主要功能：动态电滞回线DHM，静态电滞回线SHM，I-V特性，脉冲PUND，疲劳Fatigue，电击穿强度BDM，漏电流LM，电流-偏压，保持力RM，

10.电荷解析度不小于10 mC;

漏电流测量范围:1pA~ 20 mA，分辨率不低于0.1pA;

12、控制方式：计算机实时控制、实时显示、实时数据计算、分析与存储

13、软件采集：自动采集软件，分析可以兼容其他相关主流软件。

14、测试精度：±0.05%

15、内置电压：±20V

铁电参数测试主要性能指标：

a. 外接5 kV高压放大器；

b. 动态电滞回线测试频率范围0.01 Hz ～ 1 kHz；

c. 最大电荷解析度：10 mC；

d. 疲劳测试频率300 kHz（振幅10 Vpp，负载电容1 nF）；

e. 漏电流测量范围 1 pA ～ 20 mA，分辨率0.1 pA；

f. 配有高压击穿保护模块。

本测试系统由主控器、高压放大器、变温综合测试平台（配铁电测试盒）或高低温探针台（配高压探针）、计算机及系统软件部分组成。主控器集成了可编程波形发生器、内置驱动电压、电荷积分器、可编程放大器、模数转换器、通讯总线等功能，主控器提供扩展外置高压放大器接口，可扩展±5 kV或±10 kV的高压放大器。系统软件包括可视化数据采集和管理功能，测试时，无需改变测试样品的连接，即可实现滞回，脉冲，漏电，IV等性能测试。

本铁电参数测试仪/PUND测试采用改进的Sawyer- Tower测量方法，与传统的Sawyer- Tower模式相比，此电路取消了外接电容，可减小寄生元件的影响。此电路的测试精度仅取决于积分器积分电容的精度，减少了对测试的影响环节，容易定标和校准，并且能实现较高的测量准确度。

该系统测试功能：

动态电滞回线DHM

I-V特性

脉冲PUND

疲劳Fatigue

漏电流LM

电流-偏压。